미세전자기계 압력센서 (MEMS Pressure Sensor)
한 줄 정의: 반도체 미세가공 공정으로 제작된 초소형 압력센서로, 다이어프램의 변형을 전기신호로 변환하여 생체 내외의 압력을 측정합니다.
쉽게 풀면
머리카락보다 얇은 크기로 만든 아주 작은 압력계입니다. 압력이 가해지면 미세한 막이 휘어지는데, 그 휘어짐을 전기신호로 바꿔서 압력값을 알아냅니다.
왜 중요한가
크기가 매우 작아 카테터 끝이나 이식형 기기에 내장할 수 있어, 혈압이나 두개내압처럼 체내 깊숙한 곳의 압력을 실시간으로 측정하는 데 필수적이기 때문입니다.
논문에서는 이렇게 쓰입니다
"본 연구는 micro-electro-mechanical pressure sensor를 카테터 끝에 장착하여 심장 내 실시간 압력을 무선으로 전송하였다."
아주 작은 압력센서를 심장 안에 넣어 압력을 실시간으로 측정해 무선으로 보냈다는 의미입니다.
"이식형 micro-electro-mechanical pressure sensor의 장기간 생체적합성과 압력 측정 정확도를 6개월간 추적 평가하였다."
몸속에 오래 넣어둔 센서가 6개월 동안 얼마나 정확하고 안전한지 평가했다는 내용입니다.
조금 더 깊게 보면
압저항형(piezoresistive)과 정전용량형(capacitive) 방식이 주로 사용되며, 실리콘 다이어프램의 두께와 면적 설계로 감도와 측정범위를 조절합니다. 체내 이식 시에는 생체적합성 캡슐화가 성능 유지에 필수적입니다.
주의할 점
체내 온도와 습도 변화가 센서의 기준점 편이(drift)를 유발할 수 있어 장기간 사용 시 주기적인 보정이 필요합니다.